半導体製造装置用ヒーターの再生　新規品販売

: 弊社では各種半導体製造装置向(PVD,CVD等)ヒーターのOEM新規品販売、ヒーターコイル絶縁不良、ベローズリーク、冷却ライン破損、T/C（熱電対）不良等の理由で温度分布が不均一、不安定あるいは完全に使用不可能になったヒーターの再生補修サービスを行っております。ベローズの交換はもちろん、フルオーバーホールを行い、純正品以上の安定度を発揮させます。
: 過酷な条件下で使用されたヒーターは内外部ともに傷み、本来は新品の購入によるASSEMBLY交換が必須となっておりました。当社の優れた補修技術により修復されたヒーターを使用することにより大幅にメインテナンスコストを削減する事が可能となります。
: 主な再生可能ヒーター

・0010-13626 8" B101
・0010-13625 6" B101
・0010-76149 6" HTHU
・0010-76152 8" HTHU
・0010-21246 8" A101
・0010-21530 6" A101
・0010-70252 6" STANDARD
・0010-70254 8" STANDARD
・0010-03244 HP 200mm TxZ
・0010-20943 8" 6 Finger HT
・0010-22012 8" HT
・0010-22260 6" Advanced
・0010-32587 8" TxZ with flat on face
・0010-36180 8" TxZ with no flat on face
・0020-20125 8" Standard 4 finger

各種新規品　対応可能です。是非お問い合わせください。
: 各種静電チャックヒーター　再生可能です。
是非お問い合わせください。